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工作原理分为几个方面。 按真空计的测量原理分类
真空计是直接测量单位面积的力，(1)静态液位真空计:利用u型管两端的液面差测量压力。 (2)弹性元件真空计:真空连接的容器表面受到压力而弹性变形，由此测量压力值的大小。
真空计的压力为10-1Pa时，作用于1cm2表面的力只有10-5N，很难测量这样的小的力。 但是，可以从与低压下的气体压力相关的物理量的变化中间接地测量压力的变化。 对于这种真空计，(1)压缩式真空计:其原理是除了u型管以外，还测量一定量的测量压力的气体，经过等温压缩使压力增加，用u型管真空计测量，根据体积和压力的关系计算被测量压力。 (2)热传导真空计:利用低压下的气体热传导与压力有关的原理制作而成。 常用的是电阻真空计和热偶真空计。 (3)热辐射真空计:利用低压下气体热辐射与压力的关系原理。 (4)电离真空计:利用气体分子在低压下与带电粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。 例如热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、放射性电离真空计等. (5)放电管指示器:利用有关气体放电状况、放电颜色和压力的性质判定真空度，一般只能进行定性测定。 (6)粘性真空计:利用低压下的气体与容器壁的运动量交换即外摩擦原理。 振动板式真空计和磁悬浮转子真空计等。 (7)场致显微镜:根据吸附解吸时间和压力的关系计算压力。 (8)分压真空计:采用质谱技术对混合气体进行分压测定。 常用的有四极质谱仪、回旋质谱仪、无线电质谱仪等。
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